Stap 3: De diffusie pomp
Het meest integraal onderdeel van dit systeem is de diffusie-pomp, gebruikt om te verhogen van vacuüm niveaus verder dan mechanische middelen kunnen bereiken. Een roughing pomp, de Amerikaanse algemene rotary vane pump trekt de eerste ruwe vacuüm dan nodig in de zaal en de diffusie-pomp, en de diffusie-pomp wordt geactiveerd als de tweede fase, toenemend tot de definitieve vacuüm niveau.
Deze specifieke diffusie pomp werkt volgens het principe diffusie olie voor gas molecuul verwijderen, door die in de bodem van de diffusie-pomp, olie wordt gekookt en damp van de reizen van de schoorsteen, en de damp is uitgeworpen uit om vast te leggen van gasmoleculen zoveel mogelijk, en ontslagen naar beneden richting de uitlaat van de pomp te voeren het gas aan de mechanische vacuümpomp. Nu, we willen niet dat deze olie spatten in de belangrijkste kamer, dus er een vloeistof gekoelde klankbord gebruikt om te koelen en de olie laten condenseren is, voordat het in de kamer krijgen kan.
Mate deze Japanse gemaakte pomp aan de standaard CF flens kamer, moest ik een adapter plaat uit aluminium ingenieur. Ik gebruikte een CNC machine naar molen uit een plaat van MIC-6 toolplate te houden van een perfect vlakke ondergrond, als de o-ring paring oppervlak moet perfect vlak, en de ondersteuning van het gewicht van de pomp en de kamer.
